ITO-Optik-Kolloquium „Quo Vadis Optical Metrology“
Abschiedskolloquium für Prof. Wolfgang Osten am Institut für Optische Technologien der Universität Stuttgart am 1. März 2019
Vortragsprogramm:
"Optische Messtechnik im Zeitalter der digitalen Transformation: ein längerer Blick zurück und zwei kurze nach vorn"
Prof. Dr. Wolfgang Osten, Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
"Immer komplexer - physikalische Forschung und Lehre an Universitäten"
Prof. Dr. Meschede, Institut für Angewandte Physik, Universität Bonn
"Optical distance and displacement measurements for precision stage positioning"
Peter de Groot, Zygo Corporation, Middlefield, CT (USA)
"Vom Photon ins Internet of Production"
Prof. Dr.-Ing. Robert Schmitt, Werkzeugmaschinenlabor WZL der RWTH Aachen
"Schnelle Digitale Holographie für industrielle Anwendungen"
Dr. Daniel Carl, Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM, Freiburg
"Optical metrology in semiconductor manufacturing: challenges and opportunities"
Prof. Dr. Arie den Boef, Vrije Universiteit Amsterdam and ASML Veldhoven (NL)
"Bildgebende Ellipsometrie an gekrümmten Oberflächen"
Prof. Dr. Beyerer, Fraunhofer-Institut für Optronik, Systemtechnik und Bildauswertung IOSB, Karlsruhe
"Digital holography for erosion measurements under extreme environmental conditions inside the ITER Tokamak"
Dr. Giancarlo Pedrini, Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
"Elektronisch-photonisch integrierte Schaltungen auf Silizium"
Prof. Manfred Berroth, Institut für Elektrische und Optische Nachrichtentechnik, Universität Stuttgart
"Nanopositioning and metrology machine at ITO"
Christof Pruss, Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
anschließend Get-Together
Die Teilnahme ist kostenlos, für die Planung des Get-Together wird bis zum 21.2. 2019 um Anmeldung an info(at)ito.uni-stuttgart.de gebeten.
Weitere Informationen unter: http://www.ito.uni-stuttgart.de/institut/kolloquium/index.html
Datum
01.03.2019
10:00 Uhr
- 19:00 Uhr
Stadt
Stuttgart-Vaihingen
Veranstaltungsort
Hörsaal V 9.01, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 9, 70569 Stuttgart-Vaihingen
Referenten
Prof. Dr. Wolfgang Osten, Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
Prof. Dr. Meschede, Institut für Angewandte Physik, Universität Bonn
Peter de Groot, Zygo Corporation, Middlefield, CT (USA)
Prof. Dr.-Ing. Robert Schmitt, Werkzeugmaschinenlabor WZL der RWTH Aachen
Dr. Daniel Carl, Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM, Freiburg
Prof. Dr. Arie den Boef, Vrije Universiteit Amsterdam and ASML Veldhoven (NL)
Prof. Dr. Beyerer, Fraunhofer-Institut für Optronik, Systemtechnik und Bildauswertung IOSB, Karlsruhe
Dr. Giancarlo Pedrini, Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
Prof. Manfred Berroth, Institut für Elektrische und Optische Nachrichtentechnik, Universität Stuttgart
Christof Pruss, Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
Veranstalter
Institut für Technische Optik Universität Stuttgart
Pfaffenwaldring 9 70569 Stuttgart
Telefon
+49 (0)711/685-66074